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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3PVDama-end-A15414 | AMAT | AMAT | Endura II | PVD System | PVD System | 2016 | 1 | |
| * | 3PVDama-end-A15464 | AMAT | AMAT | Endura II (MF+1TiN+2Degas) | pvd: 1.9x Metal TiN HM Dep | TiNハードマスクPVD成膜装置 | Inq. | 1 | |
| * | 3PVDama-end-A15948 | AMAT | AMAT | Endura II | PVD System | PVD System | 2015 | 1 | |
| * | 3PVDfse-fu--A15678 | FSE | FSE | FU-12PEB-RH | pvd: Evaporator | 蒸着機 | Inq. | 1 | |
| * | 3PVDfse-fu--A15681 | FSE | FSE | FU-12PEB | pvd: Evaporator | 蒸着機 | Inq. | 1 | |
| * | 3PVDfse-fu--A15683 | FSE | FSE | FU-16PSB-DC-RF | pvd: Sputter | スパッター | Inq. | 2 | |
| * | 3PVDfse-fu--A15684 | FSE | FSE | FU-16PSB-Ox | pvd: Sputter | スパッター | Inq. | 1 | |
| * | 3PVDfse-fu--A15685 | FSE | FSE | FU-16PSB | pvd: Sputter | スパッター | Inq. | 1 | |
| * | 3PVDfse-fu--A15686 | FSE | FSE | FU-16PEB-ITO | pvd: Sputter | スパッター | Inq. | 1 | |
| * | 3PVDnau-ito-A15215 | NAURA | NAURA | iTops A230 | pvd: Sputter | スパッター | 2017 | 1 | |
| * | 3PVDnov-ino-A15721 | Novellus | Novellus | INOVA | PVD / 12in. | PVD / 12in. | Inq. | 1 | |
| * | 3PVDulv-ent-A15198 | ULVAC | アルバック | ENTRON W300T | pvd: Sputter/12in | スパッター/12in | 2004 | 1 |
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