| TTC ID | 3PVDama-end-A15464 |
|---|---|
| Maker | AMAT |
| メーカー | AMAT |
| 型式 | Endura II (MF+1TiN+2Degas) |
| Description | pvd: 1.9x Metal TiN HM Dep |
| 品名・仕様 | TiNハードマスクPVD成膜装置 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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