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TTC IDMakerメーカー型式Description品名・仕様年式台数対応製品
* 3CLEdns-fc3-A15926DNSDNSFC3100cle: Wet Station/12inウェットステーション/12inInq.2
* 3CLEdns-mp3-A13694DNS大日本スクリーンMP3000cleaning: Wet/12inウェットステーション/12in20051
* 3CLEg&p-cle-P14330G&PG&PCLEANER-412Scle: CMP CleanerCMP洗浄装置20211
* 3CLEjet-bw3-A15469JETJETBW3000X(reclaim&Recycle)cle: W.S. Reclaim (Poly)ポリ膜ウェーハリクレーム装置Inq.1
* 3CLEjet-bw3-A15470JETJETBW3000X(reclaim&Recycle)cle: W.S. Reclaim (Oxide)酸化膜ウェーハリクレーム装置Inq.1
* 3CLEtel-exp-A15927TEL東京エレクトロンEXPEDIUS+cle: Wet Station/12inウェットステーション/12inInq.3

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