| TTC ID | 3CLEjet-bw3-A15470 |
|---|---|
| Maker | JET |
| メーカー | JET |
| 型式 | BW3000X(reclaim&Recycle) |
| Description | cle: W.S. Reclaim (Oxide) |
| 品名・仕様 | 酸化膜ウェーハリクレーム装置 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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