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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 8DRYlam-tcp-P14693 | ラムリサーチ | TCP9400DFM | ポリエッチャー | Inq. | 1 | |
| * | 8DRYnau-gse-S14807 | NAURA | GSE S200 | ICPプラズマエッチャー | 2023 | 1 | |
| * | 8DRYsam-rie-A14705 | サムコ | RIE-200IPC | ICP Etcher | 2007 | 1 | |
| * | 8DRYsam-rie-A14706 | サムコ | RIE-212IPC | ICP Etcher | 2004 | 1 | |
| * | 8DRYsam-rie-A14707 | サムコ | RIE-200LE | ICP Etcher | 2007 | 1 | |
| * | 8DRYtel-88d-A15302 | 東京エレクトロン | 88DD | Poly Etcher (88DD)/ 8in | Inq. | 6 | |
| * | 8DRYulv-va2-R0861 | アルバック | VA2000 | ドライエッチ/8in. | Inq. | 1 |
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