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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 8DRYlam-230-A15466 | LAM | LAM | 2300 Versys Metal M+Flex FL+FX (MF) | dry: TiN Open for M0C | TiNメタルエッチ装置 | Inq. | 1 | |
| * | 8DRYlam-tcp-P14693 | LAM | ラムリサーチ | TCP9400DFM | dry: Poly Etcher | ポリエッチャー | Inq. | 1 | |
| * | 8DRYnau-gse-S14807 | NAURA | NAURA | GSE S200 | dry: ICP plasma etcher | ICPプラズマエッチャー | 2023 | 1 | |
| * | 8DRYstp-mon-P15507 | STPS/KLA | STPS/KLA | Monarch25 | dry: Vapor HF Etcher | Vapor HF Etcher | Inq. | 2 | |
| * | 8DRYteg-teg-P15556 | Tegal | Tegal | Tegal 90X | Dry Etch | ドライエッチング装置 | 1 | ||
| * | 8DRYtel-88d-A15302 | TEL | 東京エレクトロン | 88DD | dry: Poly Etcher (88DD)/ 8in | Poly Etcher (88DD)/ 8in | Inq. | 6 | |
| * | 8DRYulv-va2-R0861 | ULVAC | アルバック | VA2000 | Dry Etch/8in. | ドライエッチ/8in. | Inq. | 1 |
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