| TTC ID | 8DRYlam-230-A15466 |
|---|---|
| Maker | LAM |
| メーカー | LAM |
| 型式 | 2300 Versys Metal M+Flex FL+FX (MF) |
| Description | dry: TiN Open for M0C |
| 品名・仕様 | TiNメタルエッチ装置 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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