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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 8ASHaxc-gem-P15511 | Axcelis | Axcelis | Gemini | Asher | アッシャー | Inq. | 1 | |
| * | 8ASHaxc-pcu-P15510 | Axcelis | Axcelis | PCU | Asher | アッシャー | Inq. | 1 | |
| * | 8ASHlam-gam-A15467 | LAM | LAM | Gamma GxT | ash: HKMG Dual WF BARC Strip | HKMGレジスト／BARC剥離装置 | Inq. | 1 | |
| * | 8ASHlam-gam-A15468 | LAM | LAM | Gamma | ash: HKMG Dual WF BARC Strip | HKMGレジスト／BARC剥離装置 | Inq. | 1 |
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