| TTC ID | 8ASHlam-gam-A15468 |
|---|---|
| Maker | LAM |
| メーカー | LAM |
| 型式 | Gamma |
| Description | ash: HKMG Dual WF BARC Strip |
| 品名・仕様 | HKMGレジスト/BARC剥離装置 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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