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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3PVDama-end-A15107 | AMAT | Endura II | PVD System | 2015 | 1 | |
| * | 3PVDama-end-A15108 | AMAT | Endura II | PVD System | 2018 | 1 | |
| * | 3PVDama-end-A15414 | AMAT | Endura II | PVD System | 2016 | 1 | |
| * | 3PVDnau-ito-A15215 | NAURA | iTops A230 | スパッター | 2017 | 1 | |
| * | 3PVDulv-ent-A15198 | アルバック | ENTRON W300T | スパッター/12in | 2004 | 1 |
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