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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3EPIama-cen-P15599 | AMAT | AMAT | Centura ACP-EPI | EPI: Single-Wafer Silicon Epitaxy Deposition/12in. | 単枚式シリコンエピタキシャル成膜装置/12in. | Inq. | 1 |
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