| TTC ID | 3EPIama-cen-P15599 |
|---|---|
| Maker | AMAT |
| メーカー | AMAT |
| 型式 | Centura ACP-EPI |
| Description | EPI: Single-Wafer Silicon Epitaxy Deposition/12in. |
| 品名・仕様 | 単枚式シリコンエピタキシャル成膜装置/12in. |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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