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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3CVDama-pro-P15600 | AMAT | AMAT | Producer SE | CVD: Atmospheric Pressure/12in. | 半大気圧CVD装置/12in. | Inq. | 2 | |
| * | 3CVDasm-eag-A15455 | ASM | ASM | EagleXP4(MF+2Ch) | cvd: ALD High-K (HfO2) DEP | 高誘電率膜ALD成膜装置（HfO2） | Inq. | 1 | |
| * | 3CVDasm-eag-A15465 | ASM | ASM | EagleXP4 (MF+1Ch) | cvd: ALD High-K (HfO2) DEP | 高誘電率膜ALD成膜装置（HfO2） | Inq. | 1 | |
| * | 3CVDavi-rvp-P15609 | AVIZA | AVIZA | RVP300 | cvd: Low-Temperature Silicon Nitride Vertical Furnace | 低温シリコンナイトライド縦型炉 | Inq. | 3 | |
| * | 3CVDavi-rvp-P15611 | AVIZA | AVIZA | RVP300 | cvd: Silicon Nitride Vertical Furnace | シリコンナイトライド縦型炉 | Inq. | 1 | |
| * | 3CVDtel-tel-A13698 | TEL | 東京エレクトロン | TEL | CVD chamber: SFDTIN/ 12in | SFDTIN CVD チャンバー/12in | 2007 | 1 | |
| * | 3CVDtel-tel-A13699 | TEL | 東京エレクトロン | TEL | CVD chamber: SFDTIN PM4/12in | SFDTIN PM4 CVD チャンバー/12in | 2007 | 1 | |
| * | 3CVDtel-tri-A13684 | TEL | 東京エレクトロン | Trias | CVD/ 12in | CVD装置/12in | 2003 | 1 | |
| * | 3CVDtel-tri-A13700 | TEL | 東京エレクトロン | Trias | CVD chamber/ 12in | CVDチャンバー/12in | 2017 | 1 | |
| * | 3CVDtel-tri-A13701 | TEL | 東京エレクトロン | Trias | CVD chamber/ 12in | CVDチャンバー/12in | 2017 | 1 |
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