| TTC ID | 3CVDasm-eag-A15455 |
|---|---|
| Maker | ASM |
| メーカー | ASM |
| 型式 | EagleXP4(MF+2Ch) |
| Description | cvd: ALD High-K (HfO2) DEP |
| 品名・仕様 | 高誘電率膜ALD成膜装置（HfO2） |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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