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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3CLEdns-mp3-A13694 | DNS | 大日本スクリーン | MP3000 | cleaning: Wet/12in | ウェットステーション/12in | 2005 | 1 | |
| * | 3CLEg＆p-cle-P14330 | G＆P | G＆P | CLEANER-412S | cle: CMP Cleaner | CMP洗浄装置 | 2021 | 1 | |
| * | 3CLEjet-bw3-A15469 | JET | JET | BW3000X(reclaim&Recycle) | cle: W.S. Reclaim (Poly) | ポリ膜ウェーハリクレーム装置 | Inq. | 1 | |
| * | 3CLEjet-bw3-A15470 | JET | JET | BW3000X(reclaim&Recycle) | cle: W.S. Reclaim (Oxide) | 酸化膜ウェーハリクレーム装置 | Inq. | 1 |
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