装置詳細

TTC ID6CVDaix-aix-A14380
MakerAixtron
メーカーAixtron
型式AIX2600G3
DescriptionCVD: MOCVD(GaAs)/4in.
品名・仕様MOCVD(GaAs)/4in.
年式1999-2001
台数3
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