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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 8CMPdis-dfs-P14900 | Disco | ディスコ | DFS8960 | cmp: Surface Planer | 平坦化装置 | 2014 | 1 | |
| * | 8CMPeba-epo-A15574 | Ebara | Ebara | EPO-223 | CMP/8in. | CMP/8in. | Inq. | 1 | |
| * | 8CMPeba-epo-A15575 | Ebara | Ebara | EPO-113 | CMP/8in. | CMP/8in. | Inq. | 3 | |
| * | 8CMPeba-epo-H15025 | EBARA | 荏原 | EPO-222A | CMP/200mm | CMP装置/200mm | 2000 | 2 | |
| * | 8CMPeba-epo-P14700 | Ebara | 荏原 | EPO213 | CMP: Poly Oxide | CMP: Poly Oxide | Inq. | 3 | |
| * | 8CMPspe-24b-A15689 | Speedfam | スピードファム | 24BSG-V | cmp: Grinding Machine | 研磨機 | Inq. | 3 | |
| * | 8CMPspe-29d-A15690 | Speedfam | スピードファム | 29DPAW-2 | cmp: Polishing | ポリシング | Inq. | 1 | |
| * | 8CMPspe-29d-A15691 | Speedfam | スピードファム | 29DPAW-2 | cmp: Waxing Machine | Waxing machine | Inq. | 1 |
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