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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3OTHtel-ns--A15199 | TEL | 東京エレクトロン | NS-300 | other: Scrubber/12in | スクラバー/12in | 2004 | 1 | |
| * | 3OTHtel-ns--A15935 | TEL | 東京エレクトロン | NS-300(2B2F) | other: Scrubber/12in | Scrubber/12in | Inq. | 4 |
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