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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 8CMPdis-dfs-P14900 | ディスコ | DFS8960 | 平坦化装置 | 2014 | 1 | |
| * | 8CMPeba-epo-H15025 | 荏原 | EPO-222A | CMP装置/200mm | 2000 | 2 | |
| * | 8CMPeba-epo-P14700 | 荏原 | EPO213 | CMP: Poly Oxide | Inq. | 3 |
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