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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 5CD-hit-s-8-A15049 | 日立 | S-8820 | CD-SEM/ 5in | Inq. | 1 | |
| * | 5CD-hit-s-8-A15341 | 日立 | S-8820 | CD-SEM/ 6in | Inq. | 1 | |
| * | 5CD-hit-s-8-A15342 | 日立 | S-8820 | CD-SEM/ 6in | Inq. | 1 | |
| * | 5CD-hit-s-8-P14045 | 日立 | S-8820 | CD-SEM | inq. | 1 | |
| * | 5CD-hit-s-8-P14338 | 日立 | S-8800 | CD-SEM | Inq. | 1 | |
| * | 5CD-las-vh2-A5544 | LASERTEC | VH2000 | CD測定装置/5in. | Inq. | 1 |
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