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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 1EVAhit-e-2-E9403 | 日立ハイテク | E-201 | 蒸発装置 | 1988 | 1 | |
| * | 1EVAint-mar-S15176 | INTEC | Marsi-200 | 蒸着機 | Inq. | 1 | |
| * | 1EVAopt-otf-P15239 | オプトラン | OTFC-1300DBI | 光学薄膜蒸着装置 | 2010 | 1 | |
| * | 1EVAopt-otf-P4571 | OPTORUN | OTFG-1000C | 光学薄膜蒸着機 | Inq. | 1 | |
| * | 1EVAsho-sc--L0565 | 昭和真空 | SC-65A | コントローラ | Inq. | 5 | |
| * | 1EVAsho-sgc-A4660 | 昭和真空 | SGC-S1550i | 真空蒸着装置 | 2013 | 5 | |
| * | 1EVAulv-ebb-A1721 | アルバック | EBB-16C | 蒸着装置 | Inq. | 1 | |
| * | 1EVAulv-ebx-A1722 | アルバック | EBX-16C | 蒸着装置 | Inq. | 1 |
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