装置詳細

TTC ID6EPIcds-epi-A7035
MakerCDS Epitaxy
メーカーCDS Epitaxy
型式EpiPro 5000
DescriptionEPI: Epitaxy Reactors/6in
品名・仕様エピタキシャルリアクター/6in
年式Inq.
台数1
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