| TTC ID | 3DRYtel-tsp-P15603 |
|---|---|
| Maker | TEL |
| メーカー | TEL |
| 型式 | TSP-305555DDDD |
| Description | dry: Plasma Etcher/ /12in. |
| 品名・仕様 | プラズマエッチング装置/12in. |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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