| TTC ID | 6EPItos-egv-A15585 |
|---|---|
| Maker | Toshiba |
| メーカー | 東芝 |
| 型式 | EGV-30GX |
| Description | Epi(Si)/6in. |
| 品名・仕様 | EPI(エピタキシャル)装置(Si)/6in |
| 年式 | 2007 |
| 台数 | 3 |
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