| TTC ID | 8IONvar-vii-A15576 |
|---|---|
| Maker | VARIAN |
| メーカー | VARIAN |
| 型式 | VIISTA 80 |
| Description | ion: Implanter/8in. |
| 品名・仕様 | 注入機/8in. |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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