| TTC ID | 1POLspe-18b-H15540 |
|---|---|
| Maker | SpeedFam / JNG 18 BAW |
| メーカー | SpeedFam / JNG 18 BAW |
| 型式 | 18B |
| Description | Polishing : Single Side |
| 品名・仕様 | 片面研磨機 |
| 年式 | 1991 |
| 台数 | 2 |
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