| TTC ID | 3RTPnau-boo-A15458 |
|---|---|
| Maker | Naura |
| メーカー | Naura |
| 型式 | Booster A630 |
| Description | rtp: BEOL Cu Single Wafer Anneal |
| 品名・仕様 | Cu配線単枚アニール装置 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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