装置詳細

TTC ID1SPUhit-01e-Q14215
MakerHitachi High-Tech Fielding
メーカー日立ハイテクフィールディング
型式01E-6377
Descriptionspu: Target (Pt-Pd) for ion sputter (E-1030)
品名・仕様イオンスパッタ装置（E-1030）用ターゲット（Pt-Pd）
年式Inq.
台数4
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