| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1WETche-cc8-M13354 | Chemcut Corp | CC8000 | エッチャー | 2012 | 1 |
| 1WETlam-sp4-Q12499 | ラムリサーチ(Former SEZ) | SP4200 | 片面スピンエッチャー/200mm | 2003 | 1 |
| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1WETche-cc8-M13354 | Chemcut Corp | CC8000 | エッチャー | 2012 | 1 |
| 1WETlam-sp4-Q12499 | ラムリサーチ(Former SEZ) | SP4200 | 片面スピンエッチャー/200mm | 2003 | 1 |
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