| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1DRYcor-300-F13537 | Corial | 300IL | プラズマエッチング装置 | Inq. | 7 |
| 1DRYmax-300-P14194 | MAXIS | 300LCH | ドライエッチ装置 | 2012 | 12 |
| 1DRYtop-hie-P14195 | TOP Engineering | HietechLX-380 | 380mm ICP エッチャー | Inq. | 3 |
| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1DRYcor-300-F13537 | Corial | 300IL | プラズマエッチング装置 | Inq. | 7 |
| 1DRYmax-300-P14194 | MAXIS | 300LCH | ドライエッチ装置 | 2012 | 12 |
| 1DRYtop-hie-P14195 | TOP Engineering | HietechLX-380 | 380mm ICP エッチャー | Inq. | 3 |
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