| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 5CD-hit-s-8-P14045 | 日立 | S-8820 | CD-SEM | inq. | 1 |
| 5CD-hit-s-8-P14338 | 日立 | S-8800 | CD-SEM | Inq. | 1 |
| 5CD-las-vh2-A5544 | LASERTEC | VH2000 | CD測定装置/5in. | Inq. | 1 |
| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 5CD-hit-s-8-P14045 | 日立 | S-8820 | CD-SEM | inq. | 1 |
| 5CD-hit-s-8-P14338 | 日立 | S-8800 | CD-SEM | Inq. | 1 |
| 5CD-las-vh2-A5544 | LASERTEC | VH2000 | CD測定装置/5in. | Inq. | 1 |
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