| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1SPUakt-nar-P3225 | AKT | NAR1800 Twin | 複合スパッタ/ITO+Metal | 2012 | 1 |
| 1SPUame-ims-A4598 | Ametek | IMS6fe7 with Wincurve SW | SIMS(二次イオン質量分析計) | 2017 | 1 |
| 1SPUane-evc-14430 | アネルバ | EVC-1701 | 蒸着装置 | 1995 | 1 |
| 1SPUden-int-P5175 | Denton | Integrity 26 | 光学薄膜用蒸着装置 | 2013 | 1 |
| 1SPUful-fu--A6233 | FULINTEC | FU-12PSB | スパッター | Inq. | 1 |
| 1SPUhit-01e-Q14215 | 日立ハイテクフィールディング | 01E-6377 | イオンスパッタ装置（E-1030）用ターゲット（Pt-Pd） | Inq. | 4 |
| 1SPUhit-e10-E9404 | 日立ハイテク | E101 | イオンスパッター | 1988 | 1 |
| 1SPUimo-imc-Q8503 | 井元製作所 | IMC-7801 | ロール to ロール | 2018 | 1 |
| 1SPUkit-kjs-Q8494 | 北野精機 | KJST-3000 | 真空蒸着装置 | 2006 | 1 |
| 1SPUopt-wp0-S11634 | オプトラン | WP0-1300 | 成膜装置 | 2008 | 1 |
| 1SPUshi-bmc-Q7253 | シンクロン | BMC-850 | 真空蒸着装置 | 1996 | 1 |
| 1SPUsho-sgc-A13763 | 昭和真空 | SGC-S1550i | 蒸着装置 | 2013 | 5 |
| 1SPUsho-src-Q5287 | 昭和真空 | SRC-20C | 蒸着装置 | 1997 | 1 |
| 1SPUtem-bjd-H8307 | TEMPHI5400 L | BJD-1800 | 蒸着装置 | 2002 | 1 |
| 1SPUtem-fc--I5429 | Temescal | FC-1800 | 蒸着装置 | Inq. | 1 |
| 1SPUulv-ex--H8308 | ULVAC | EX-550 | 蒸着装置 | 1991 | 1 |
| 1SPUulv-sdh-P14225 | アルバック | SDH-4550L | スパッター | 2014 | 3 |
