| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6CMPama-mir-A14584 | アプライドマテリアルズ | Mirra | CMP/6in. | Inq. | 2 |
| 6CMPg＆p-pol-P14331 | G＆P | POLI-400L | Poli CMP system | 2021 | 1 |
| 6CMPlog-lp7-W10203 | Logitech | LP70(1WBS7) | CMP | 2019 | 1 |
| 6CMPspe-36d-G11807 | スピードファム | 36DPAW | 研磨機 | Inq. | 5 |
| 6CMPspe-36g-G11806 | スピードファム | 36GPAW | 片面研磨機 | Inq. | 3 |
| 6CMPspe-36s-G11805 | スピードファム | 36SWM | ワックス装置 | Inq. | 10 |
| 6CMPspe-36s-P14396 | スピードファム | 36SWM | ワックス装置(セミオート) | Inq. | 1 |
| 6CMPspe-50d-P14394 | スピードファム | 50DPAW-TD | 研磨装置/ポリッシャ | Inq. | 1 |
| 6CMPspe-50d-P14395 | スピードファム | 50DPAW | 研磨装置/ポリッシャ | Inq. | 1 |
| 6CMPspe-50g-P14393 | スピードファム | 50GPAW-TD | 片面研磨装置 | Inq. | 1 |
