| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6RTPag-hea-A13602 | AG Associates | Heatpulse 4100 | RTP/6in. | Inq. | 1 |
| 6RTPmat-ast-A13601 | Mattson | AST2800 | RTP/6in. | Inq. | 5 |
| 6RTPnat-ag4-F13993 | ナショナル セミコンダクター | AG4100 | RTP | Inq. | 1 |
| 6RTPpre-rtp-A14383 | PREMTEK | RTP-1201A | RTP/6in. | 2019 | 1 |
| 6RTPsun-srd-A5553 | Sunred | SRD-TH-091127 | RTP/6in. | 2010 | 1 |
