| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6STEasm-ws8-A6238 | ASM | WS896 | ウエハステッパー | Inq. | 2 |
| 6STEcan-fpa-A12976 | キヤノン | FPA-3000i4 | ステッパー/4in. | Inq. | 3 |
| 6STEcan-fpa-A12977 | キヤノン | FPA-3000i5 | ステッパー/4in. | Inq. | 1 |
| 6STEcan-fpa-A5555 | キヤノン | FPA-1550MK-IV | ステッパー/6in. | 1991 | 1 |
| 6STEcan-fpa-A5556 | キヤノン | FPA-1550MK-IV | ステッパー/6in. | 1992 | 1 |
| 6STEcan-fpa-A5557 | キヤノン | FPA-1550MK-IV | ステッパー/6in. | 1993 | 1 |
| 6STEcan-mpa-F13988 | キヤノン | MPA500 | ステッパー | Inq. | 1 |
| 6STEnik-i10-F12832 | ニコン | i10 | ステッパー | Inq. | 3 |
| 6STEnik-i8-F12830 | ニコン | i8 | ステッパー | 1994 | 8 |
| 6STEnik-i9-F12831 | ニコン | i9 | ステッパー | Inq. | 7 |
| 6STEnik-nsr-A12651 | ニコン | NSR1505G3A | ステッパー/5in | Inq. | 11 |
| 6STEnik-nsr-A12652 | ニコン | NSR-1505G4D | ステッパー/5in | Inq. | 3 |
| 6STEnik-nsr-A13495 | ニコン | NSR-1755G7A | ステッパー/6in | Inq. | 2 |
| 6STEnik-nsr-A14324 | ニコン | NSR-2005i9C | ステッパー/6in. | Inq. | 1 |
| 6STEnik-nsr-F13991 | ニコン | NSR-2005I10C | ステッパー | Inq. | 1 |
| 6STEnik-nsr-G10107 | ニコン | NSR 1505G4D | ステッパー | inq | 2 |
| 6STEnik-nsr-G11783 | ニコン | NSR-1755i7 | ステッパー | inq. | 1 |
| 6STEnik-nsr-P14337 | ニコン | NSR-2205i14E | ステッパー | Inq. | 1 |
| 6STEult-sap-A14266 | Ultratech | Sapphire100 | ステッパー | 2011 | 1 |
| 6STEult-sap-G10179 | Ultratech | sapphire 100 | ステッパー | inq | 1 |
| 6STEult-ut1-A11894 | ウルトラテック | UT1500 | ステッパー/4in. | Inq. | 1 |
