| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 8STEasm-pas-P14254 | ASML | PAS5500/80b | ステッパー | 1995 | 1 |
| 8STEasm-pas-P14255 | ASML | PAS5500/22 | ステッパー | 1996 | 1 |
| 8STEasm-pas-P14399 | ASML | PAS5500/100 | ステッパー | Inq. | 1 |
| 8STEasm-pas-P14400 | ASML | PAS5500/22 | ステッパー | Inq. | 1 |
| 8STEcan-fpa-A13578 | キヤノン | FPA-6000AS4 | ArFスキャナー (4X)/8in. | Inq. | 2 |
| 8STEcan-fpa-A13717 | キヤノン | FPA-6000AS4 | ArFスキャナー/8in. | 2003-2004 | 2 |
| 8STEnik-nsr-G12090 | ニコン | NSR2005i8A | ステッパー/8in | 1994 | 1 |
