| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 8OTHdis-dcs-F12692 | ディスコ | DCS141 | ウェハクリーナー | Inq. | 1 |
| 8OTHdns-ss--P14044 | 大日本スクリーン | SS-80A | スクラバー | Inq. | 1 |
| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 8OTHdis-dcs-F12692 | ディスコ | DCS141 | ウェハクリーナー | Inq. | 1 |
| 8OTHdns-ss--P14044 | 大日本スクリーン | SS-80A | スクラバー | Inq. | 1 |
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