| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 8COAkin-ks--G12717 | KINGSEMI | KS-S150-3C | コータ・デベロッパ | 2021 | 1 |
| 8COAmse-vrd-E10419 | エムセテック | VRD-8000 | デベロッパー | 2000 | 1 |
| 8COAtel-mar-G12091 | 東京エレクトロン | MARK Vz | コーター・デベロッパ | 1996 | 1 |
| 8COAtel-mar-P14042 | 東京エレクトロン | Mark8 | コーター | Inq. | 3 |
| 8COAtel-mar-P14340 | 東京エレクトロン | Mark8 | コーター | Inq. | 1 |
