| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6PVDams-1t3-A14178 | AMS | 1T3P | スパッタ/6in. | 2023 | 1 |
| 6PVDams-am2-P14334 | AMSYSTEM | AM217-TPP | PVD装置 | 2018 | 1 |
| 6PVDane-ilc-A1719 | アネルバ | ILC-1012 | スパッタ | Inq. | 2 |
| 6PVDane-ilc-A5545 | アネルバ | ILC-1012 | スパッタ/5in. | Inq. | 1 |
| 6PVDane-ilc-A5560 | アネルバ | ILC-1012 | スパッタ/5in. | Inq. | 1 |
| 6PVDast-bh--Q9708 | アステック | BH-10RV-02 -02 | オートマッチャー | inq. | 1 |
| 6PVDast-pev-A10753 | AST | Peva-600E | 蒸着装置 | Inq. | 2 |
| 6PVDast-pev-H10888 | AST | PEVA-600I | 物理蒸着 | 2018 | 1 |
| 6PVDast-pev-P11748 | AST | Peva-600E | 蒸着装置 | Inq. | 1 |
| 6PVDast-pev-P11749 | AST | Peva-600T | 蒸着装置 | Inq. | 1 |
| 6PVDbct-e60-A10754 | BCT | E600 | 蒸着装置 | Inq. | 1 |
| 6PVDcan-ilc-A11032 | キヤノンアネルバ | ILC-1051 | スパッター/6in | inq. | 1 |
| 6PVDcan-ilc-A14445 | キヤノンアネルバ | ILC-1051 | スパッター/6in | Inq. | 1 |
| 6PVDfse-fu--A10751 | FSE | FU-16PEB | 蒸着装置 | Inq. | 1 |
| 6PVDfse-fu--A11768 | FSE | FU-12CE | 蒸着機/4in | 2005 | 1 |
| 6PVDfse-fu--A11769 | FSE | FU-12CE | 蒸着機/4in | 2005 | 1 |
| 6PVDfse-fu--A11770 | FSE | FU-16CE | 蒸着機/4in | 2005 | 1 |
| 6PVDfse-fu--A12429 | FSE | FU-20PEB-RH-1200 | 蒸着装置/4in | 2007 | 1 |
| 6PVDfse-fu--P11746 | FSE | FU-16PEB | 蒸着装置 | Inq. | 1 |
| 6PVDfse-vti-A10752 | FSE | VTI-16C | 蒸着装置 | Inq. | 1 |
| 6PVDfse-vti-P11747 | FSE | VTI-16C | 蒸着装置 | Inq. | 1 |
| 6PVDfu-fu--G6167 | FU LIN TECH | FU-16PEB-ITO | 蒸着装置 | 2010 | 1 |
| 6PVDinq-tm0-Q9707 | inq. | TM06ASI10 | スパッタガン/6インチ | inq. | 1 |
| 6PVDmrc-ecl-A13517 | MRC | ECL360 | スパッタ/6in. | Inq. | 1 |
| 6PVDmrc-ecl-A13518 | MRC | ECLIPSE | スパッタ/6in. | Inq. | 1 |
| 6PVDopt-otf-A14209 | オプトラン | OTFC-1300DBI | 蒸着装置 | Inq. | 2 |
| 6PVDsci-inq-Q9680 | サイエンスプラス | inq. | スパッタ/6in | inq. | 1 |
| 6PVDshi-aam-A5548 | シンコー精機 | AAMF-C2280SPB | スパッタ/5in. | Inq. | 1 |
| 6PVDtea-ito-H10887 | TEAMS CORPORATION | ITO Sputter | スパッター | 2018 | 1 |
| 6PVDtri-ms--A14327 | Trikon | MS-6210 | スパッタ/6in. | Inq. | 1 |
| 6PVDulv-ebb-A13823 | アルバック | EBB-16C | 蒸着装置/5in | Inq. | 1 |
| 6PVDulv-ebx-A13824 | アルバック | EBX-16C | 蒸着装置/5in | Inq. | 1 |
| 6PVDulv-for-A11698 | アルバック | for SIH-450 Sputter | NiO ターゲット/4in. | Inq. | 1 |
| 6PVDulv-srh-P1995 | アルバック | SRH820 | スパッタ | 2006 | 3 |
| 6PVDvar-319-A14252 | Varian | 3190 | スパッター/5in | Inq. | 2 |
| 6PVDvar-329-A14253 | Varian | 3290 | スパッター/6in | Inq. | 2 |
