| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6OTHdns-ssw-P12035 | 大日本スクリーン | SSW-629_B | ウエハスクラバー | Inq. | 1 |
| 6OTHeco-eco-A11151 | ECOSYS | ECOSYS/Vector | スクラバー | Inq. | 1 |
| 6OTHedw-edw-A11152 | EDWARDS | EDWARDS/GRCD | スクラバー | Inq. | 1 |
| 6OTHipi-ipi-A11150 | IPI | IPI/ESC | スクラバー | Inq. | 1 |
| 6OTHkan-kt/-A11149 | KANKEN | KT/F5 | スクラバー | Inq. | 1 |
| 6OTHlum-waf-A12657 | Lumonics | WAFERMARK 345 | ウェハマーカー/5in | Inq. | 1 |
| 6OTHnec-sl4-A13524 | NEC | SL473F | レーザーマーカ/6in. | Inq. | 1 |
| 6OTHuic-uic-A11153 | UIC | UIC/UIC30 | スクラバー | Inq. | 1 |
| 6OTHult-uh--A1818 | Ultron | UH-101C | UV照射装置 | Inq. | 1 |
| 6OTHush-uma-A10919 | ウシオ | UMA-802-HC551MU | レジストUVキュアリング/6in | inq. | 1 |
| 6OTHush-uma-A12658 | ウシオ電機 | UMA-802-H6 | UV露光装置/5in | Inq. | 1 |
| 6OTHyes-yes-A14382 | YES | YES-310TA | Oven/6in. | Inq. | 1 |
