TTC IDメーカー型式品名・仕様年式台数
6IONaxc-for-A11699Axcelisfor GSD implanterディスク/5in.Inq.3
6IONeat-nv1-A14047EatonNV10-160KVイオン注入機/6inInq.1
6IONeat-nv1-A14217EATONNV10-160注入機/6inInq.1
6IONeat-nv3-A13358EatonNV3206注入機/6inInq.1
6IONeat-nv3-A13359EatonNV3204注入機/4inInq.1
6IONnis-nh--A12648NissinNH-20SR注入装置(M/C) /5inInq.2
6IONnis-nh--A12940日新NH-20SRイオン注入/6in.Inq.1
6IONnis-nh--A14446日新NH-20SRスペアパーツ一式Inq.1
6IONsmi-gsd-Q14431住友重機械イオンテクノロジーGSD-80部品(GSD-80)Inq.1
6IONulv-idz-11741アルバックIDZ8000イオン注入装置19931
6IONulv-idz-G11115アルバックIDZ8001注入/6ininq.1
6IONulv-ih--A13326アルバックIH-860DSICイオン注入装置/6in20201
6IONulv-ih--G12389アルバックIH-860DSIC高温イオン注入装置20131
6IONvar-120-A12644Varian120XP注入装置(H/C) /5inInq.1
6IONvar-120-A12645Varian120/10注入装置(H/C) /5inInq.2
6IONvar-200-A12647Varian200-CF5注入装置(M/C) /5inInq.1
6IONvar-300-A10829Varian300Xpイオン注入/6inInq1
6IONvar-350-A7621Varian350Dイオン注入機/5inInq.1
6IONvar-350-A9384Varian350Dイオン注入inq.1
6IONvar-350-G11116Varian350D注入/6ininq.1
6IONvar-80/-A12646Varian80/10注入装置(H/C) /5inInq.2