| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6FURbtu-inq-8795 | BTU | Inq. | 拡散炉/4in. | Inq. | 2 |
| 6FURb-w-sv--G6163 | B-Well | SV-250 | 真空炉 | Inq. | 1 |
| 6FURhi--h4--E12007 | Hi-Tech Furnace | H4-7074 | 横型酸化炉 | 2002 | 1 |
| 6FURke-dd--11174 | KE | DD-825V-6L | 炉体 | inq. | 1 |
| 6FURkok-cx1-12707 | 国際電気 | CX1000 | DD802V用コントローラー | 1991 | 1 |
| 6FURkoy-sc9-A5550 | 光洋 | SC9-1000-3 | 拡散炉/5in. | Inq. | 1 |
| 6FURshi-usc-A10521 | 日本神岡 | USC-6（Si3N4） | 縦型炉 | inq | 1 |
| 6FURshi-usc-A10522 | 日本神岡 | USC-6（SIPOS） | 縦型炉 | inq | 1 |
| 6FURsj-kl--A8511 | SJ | KL-120-20DD | 拡散炉/6in. | 2009 | 1 |
| 6FURsj-lin-G6166 | SJ | Lindberg A1200-2 | 拡散炉 | Inq. | 1 |
| 6FURtel-iw--11739 | 東京エレクトロン | IW-6D | 拡散炉（O2、N2） | 1992 | 1 |
| 6FURthe-tmx-A12668 | サームコ | TMX-9000 | アニール装置/5in | Inq. | 1 |
