| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6EPIama-cen-A13428 | アプライドマテリアルズ | Centura Pronto | EPI(エピタキシャル)装置/6in | Inq. | 2 |
| 6EPIcds-epi-A7035 | CDS Epitaxy | EpiPro 5000 | エピタキシャルリアクター/6in | Inq. | 1 |
| 6EPIgem-3e-A9472 | ジェミニ | 3E | エピタキシャルリアクター/4"-6" | inq. | 3 |
| 6EPIgem-g2-A13515 | Gemini | G2 | EPI(エピタキシャル)装置/6in | Inq. | 2 |
