| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6DRYcor-300-A8415 | Corial | 300IL | ICPエッチャー | Inq. | 3 |
| 6DRYcor-cor-G10073 | Corial | Corial 300IL | ICPエッチャ | inq | 2 |
| 6DRYhit-m30-G11117 | 日立 | M308 | ドライエッチ/6in | inq. | 1 |
| 6DRYhit-m31-11175 | 日立ﾊｲﾃｸﾌｨｰﾙﾃﾞｨﾝｸ | M318 | ｹﾞｰﾄｴｯﾁ | inq. | 1 |
| 6DRYhit-m-3-A12664 | 日立 | M-308A | ドライエッチ装置/5in | Inq. | 3 |
| 6DRYlam-490-A12665 | LAM | 490 | ドライエッチ装置/5in | Inq. | 2 |
| 6DRYlam-490-A8513 | Lam | 490 | エッチャー/6in. | 1995 | 1 |
| 6DRYlam-590-A12666 | LAM | 590 | ドライエッチ装置/5in | Inq. | 1 |
| 6DRYmim-mse-12447 | 三益半導体 | MSE-2000F2 | 裏面Siエッチ装置 | 2001 | 1 |
| 6DRYnmc-ele-G12719 | NMC(North Microelectronics) | ELEDE 380 | ICP エッチャー | 2018 | 8 |
| 6DRYpan-e60-P11751 | パナソニック | E600L NM-EFE2AA | ドライエッチャー | Inq. | 1 |
| 6DRYpla-vlr-A14011 | Plasma Therm | VLR700 | ドライエッチ装置/6in | 1998 | 1 |
| 6DRYqin-inq-G6164 | Qingdao Jing Cheng | Inq. | エッチング装置 | Inq. | 1 |
| 6DRYsam-rie-A7865 | SAMCO | RIE-200IPC | ICP Etcher | Inq. | 1 |
| 6DRYsam-rie-D6398 | SAMCO | RIE-200ip | ドライエッチャー | Inq. | 1 |
| 6DRYsam-rie-Q11391 | サムコ | RIE-10N | RIE装置（ドライエッチング） | inq. | 1 |
| 6DRYshi-cde-Q11483 | 芝浦 | CDE-7-4 | CDE装置 | 1994 | 1 |
| 6DRYspt-fxp-A13987 | SPTS | fxP ICP 4PM | エッチャー/6in. | 2020 | 1 |
| 6DRYspt-ome-A14216 | SPTS | Omega C2L VHF | ドライエッチ装置/6in. | 2019 | 1 |
| 6DRYstp-ome-P14333 | STPS | OMEGA C2L | エッチング装置 | 2021 | 1 |
| 6DRYsts-mul-A8520 | STS | Multiple | ICPエッチャー | Inq. | 1 |
| 6DRYteg-600-G10104 | TEGAL | 6000 | プラズマエッチャ | inq | 1 |
| 6DRYteg-901-G10103 | TEGAL | 901e | プラズマエッチャ | inq | 7 |
| 6DRYteg-903-A13093 | TEGAL | 903e | エッチャー/6in | Inq. | 4 |
| 6DRYtel-te5-A14342 | 東京エレクトロン | TE5000 | ドライエッチング装置/6in. | Inq. | 1 |
| 6DRYtel-te--A12662 | 東京エレクトロン | TE-8400PE | ドライエッチ装置/5in | Inq. | 1 |
| 6DRYtel-te--A12663 | 東京エレクトロン | TE-5000 | ドライエッチ装置/5in | Inq. | 1 |
| 6DRYtok-oap-9622 | 東京応化工業 | OAPM-SH406 | ドライエッチャー/6in | 1988 | 1 |
| 6DRYtok-tce-12274 | 東京応化 | TCE2400 | ドライエッチ装置 | Inq. | 1 |
| 6DRYtok-tce-12275 | 東京応化 | TCE3822 | ドライエッチ装置 | Inq. | 1 |
| 6DRYtok-u2e-11170 | 東京エレクトロン | U2e-655II | UNITY-DI | inq. | 1 |
| 6DRYyok-472-11171 | 横河電機ソリューションズ | 4720 | Rainbow | inq. | 1 |
