| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6CVDaix-200-P11745 | Aixtron | 2000/2400HT | MOCVD | Inq. | 1 |
| 6CVDaix-240-D6392 | AIXTRON | 2400G3 | MOCVD | Inq. | 1 |
| 6CVDaix-240-D6394 | AIXTRON | 2400G3HT | MOCVD | Inq. | 1 |
| 6CVDaix-240-D6396 | AIXTRON | 2400G3 | MOCVD | Inq. | 1 |
| 6CVDaix-260-A13525 | アイクストロン | 2600G3 | MOCVD/4in. | 2001 | 1 |
| 6CVDaix-260-A14163 | アイクストロン | 2600G3 | MOCVD/4in. | Inq. | 2 |
| 6CVDaix-260-A14164 | アイクストロン | 2600G3 | MOCVD/4in. | Inq. | 3 |
| 6CVDaix-260-A14165 | アイクストロン | 2600G3 | MOCVD/6in. | 2006 | 1 |
| 6CVDaix-260-D6395 | AIXTRON | 2600G3 | MOCVD | Inq. | 1 |
| 6CVDaix-aix-A13208 | アイクストロン | AIX2000HT(6*2") | MOCVD | 2001 | 1 |
| 6CVDaix-aix-A13209 | アイクストロン | AIX2400G3HT(42*2") | MOCVD | 2007 | 1 |
| 6CVDaix-aix-A13544 | アイクストロン | AIXG5WW | MOCVD(SIC)/4in. | 2014 | 1 |
| 6CVDaix-aix-A13594 | アイクストロン | AIX G5HT | MOCVD/4in. | Inq. | 3 |
| 6CVDaix-aix-A13595 | アイクストロン | AIX 2800G4 | MOCVD/4in. | Inq. | 3 |
| 6CVDaix-aix-A13774 | アイクストロン | AiX2800G4HT | MOCVD/4in | 2010 | 1 |
| 6CVDaix-aix-A14295 | アイクストロン | AIX G5 HT | MOCVD/4in. | 2009-2010 | 4 |
| 6CVDaix-aix-A14296 | アイクストロン | AIX2800G4 HT | MOCVD/4in. | 2010 | 2 |
| 6CVDaix-aix-A14380 | Aixtron | AIX2600G3 | MOCVD(GaAs)/4in. | 1999-2001 | 3 |
| 6CVDaix-aix-A14381 | Aixtron | AIX2600G3 | MOCVD(GaAs)/4in. | 2001 | 1 |
| 6CVDaix-aix-P11744 | Aixtron | AIX2600G3HT | MOCVD | Inq. | 1 |
| 6CVDaix-cri-G11439 | AIXTRON | CRIUS II X-L | MOCVD/4in. | Inq. | 24 |
| 6CVDaix-cri-G11803 | AIXTRON | CriusII | MOCVD | Inq. | 3 |
| 6CVDaix-r6-G11804 | AIXTRON | R6 | MOCVD | Inq. | 9 |
| 6CVDaix-sam-G11802 | AIXTRON | SAM | MOCVD | Inq. | 2 |
| 6CVDaix-ts -A10744 | Aixtron | TS Crius | MOCVD/2in. | 2007 | 1 |
| 6CVDaix-vp5-H8302 | AIXTRON AG | VP508GFR Hot-Wall CVD Reactor | MOCVD | 2011 | 1 |
| 6CVDaix-vp5-H8303 | AIXTRON AG | VP508GFR Hot-Wall CVD Second Cell | MOCVD | 2013 | 1 |
| 6CVDama-aec-12291 | 天谷製作所 | AEC2250SP-296 | APCVD | Inq. | 1 |
| 6CVDama-ama-11740 | 天谷製作所 | AMAX200 | APCVD | 1998 | 1 |
| 6CVDama-p50-P14332 | アプライドマテリアルズ | P5000 | CVD装置 | Inq. | 1 |
| 6CVDasm-pe--A5546 | ASM | PE-CVD PXJ-100LH | PECVD/5in. | Inq. | 1 |
| 6CVDbei-inq-A0921 | Beijing Beiyi Innovation Vacuum Technology | Inq. | PECVD | 2012 | 1 |
| 6CVDemc-e40-D6393 | EMCORE | E400 | MOCVD | Inq. | 1 |
| 6CVDke-dj--11173 | KE | DJ-825V-6L | 低圧CVD | inq. | 1 |
| 6CVDnip-bmc-A10545 | 大陽日酸 | BMC-311 | MOCVD/4in | inq | 1 |
| 6CVDnip-mc--A13880 | 日本酸素 | MC-4326(25)KS | MOCVD | 2004 | 1 |
| 6CVDnip-sr--A13881 | 日本酸素 | SR-4329KS | MOCVD | 2004-2006 | 2 |
| 6CVDnov-nov-F13992 | ノベラス | Novellus C1 | PECVD | Inq. | 1 |
| 6CVDsam-pd--A7863 | SAMCO | PD-3800 | PECVD | Inq. | 1 |
| 6CVDsam-pd--A7864 | SAMCO | PD-4800 | PECVD | Inq. | 1 |
| 6CVDtai-sr--A13383 | 大陽日酸 | SR-4326(25) KS | MOCVD/2-4in | 2010-2012 | 2 |
| 6CVDtai-ur2-A14091 | 大陽日酸 | UR25K | MOCVD/4in | Inq. | 2 |
| 6CVDtok-mb2-11172 | 東京エレクトロン | MB2-730 BLK-W | MB2 | inq. | 1 |
| 6CVDvee-c4-A13597 | Veeco | C4 | MOCVD/4in. | Inq. | 5 |
| 6CVDvee-d30-D6397 | VEECO | D300GaN | MOCVD | Inq. | 1 |
| 6CVDvee-e30-A13210 | Veeco | E300 | MOCVD | 2006-2012 | 5 |
| 6CVDvee-e30-P11742 | Veeco | E300 | MOCVD | Inq. | 3 |
| 6CVDvee-e30-Q13538 | Veeco | E300 | MOCVD | 2008-2009 | 1 |
| 6CVDvee-k46-A12874 | Veeco | K465i | MOCVD/4in | Inq. | 3 |
| 6CVDvee-k46-A13211 | Veeco | K465 | MOCVD | 2007-2014 | 6 |
| 6CVDvee-k46-A13839 | Veeco | K465i | MOCVD/4in. | Inq. | 2 |
| 6CVDvee-k46-A13871 | Veeco | K465i | MOCVD/4in. | 2010 | 2 |
| 6CVDvee-k46-A3133 | Veeco | K465 | MOCVD | 2008 | 1 |
| 6CVDvee-k46-P11743 | Veeco | K465 | MOCVD | Inq. | 2 |
| 6CVDwat-wj1-G12729 | Watkins-Johnson | WJ1000T | APCVD/6in | Inq. | 1 |
| 6CVDwj-wj--A14425 | WJ | WJ-999R | APCVD/6in | 2000 | 1 |
