| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6COAcan-cds-10316 | キヤノン | CDS-630 | ポジレジスト現像装置 | 1998 | 1 |
| 6COAdai-cus-A5547 | ダイトロン | Custom order | コーター/5in. | Inq. | 1 |
| 6COAdns-skw-A12653 | 大日本スクリーン | SKW-636-BV | コータ・デベロッパ/5in | Inq. | 14 |
| 6COAm.s-ms--12109 | エム・セテック | MS-132 | スピンコーター/SOG塗布装置 | 1993 | 1 |
| 6COAsvg-860-A12655 | SVG | 860 | デベロッパー/5in | Inq. | 1 |
| 6COAsvs-msx-A10750 | SVS | MSX1000 | コータ・デベロッパ | Inq. | 7 |
| 6COAsvs-msx-G12716 | SVS | MSX-1000 | コータ・デベロッパ | Inq. | 5 |
| 6COAtel-cle-A8512 | 東京エレクトロン | CLEAN TRACK | ウエハエッジイクスクルージョン/6in | 1995 | 1 |
| 6COAtel-mar-12276 | 東京エレクトロン | Mark Vz | デベロッパー | Inq. | 2 |
| 6COAtel-mar-A14325 | 東京エレクトロン | Mark-Vz | コーター/6in. | Inq. | 1 |
| 6COAtel-mar-A14326 | 東京エレクトロン | Mark-Vz | デベロッパ/6in. | Inq. | 1 |
| 6COAtok-asp-A12654 | 東京応化 | ASP-LE（N） | コーター/5in | Inq. | 2 |
