| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6CLE45i-cxs-G12725 | 45inst | CXS-2150E | Inq. | 2017 | 2 |
| 6CLE45i-sfq-G12726 | 45inst | SFQZ-404HLSX | Inq. | 2014 | 1 |
| 6CLEass-sh8-A13636 | ASSI | SH801 | スピンドライヤー/4in | Inq. | 2 |
| 6CLEass-sh--A11532 | ASSI | SH-801 | スピンドライヤ | 2012 | 1 |
| 6CLEcan-mc--Q5567 | キヤノン | MC-2 | マウンドクラッシャー | 1988 | 1 |
| 6CLEdal-inq-E12005 | ダルトン | Inq. | SPM洗浄ドラフト | Inq. | 1 |
| 6CLEfsi-mer-A14367 | FSI | MERCURY | スピンエッチ装置/6in. | Inq. | 1 |
| 6CLEfsi-mer-A14397 | FSI | MERCURY | スピンエッチ装置/6in. | Inq. | 1 |
| 6CLEfsi-mer-A14398 | FSI | MERCURY | スピンエッチ装置/6in. | Inq. | 1 |
| 6CLEfuj-fa--10201 | FUJI ADVANCED Corp | FA-7SR | スピンドライヤー | inq | 1 |
| 6CLEmim-mse-12446 | 三益半導体 | MSE-2000FC | 裏面SC1洗浄装置 | 2001 | 1 |
| 6CLEmtk-cl6-A9808 | MTK | CL61D102 | 洗浄装置/4-6in | 2015 | 1 |
| 6CLEnan-inq-G6165 | NANXUANKEJI | Inq. | 洗浄装置 | Inq. | 1 |
| 6CLEsem-870-A12670 | SEMITOOL | 870S | スピンドライヤ/5in | Inq. | 4 |
| 6CLEsem-psc-A12671 | SEMITOOL | PSC-101 | スピンドライヤ/5in | Inq. | 1 |
| 6CLEson-inq-A8681 | Songjaan | Inq. | ウェハ洗浄機/6in. | 2014 | 1 |
