| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 6ASHhit-ua3-A12603 | 日立 | UA3150A | U/V オゾンアッシャー | Inq. | 1 |
| 6ASHhit-ua3-A12604 | 日立 | UA3150A | U/V オゾンアッシャー | Inq. | 1 |
| 6ASHhit-ua3-A12605 | 日立 | UA3150A | アッシャー(UV&O3) without Wafer | Inq. | 1 |
| 6ASHpla-des-Q11482 | Plasma systems | DES-206 | アッシャー | 1984 | 1 |
| 6ASHpsc-des-A13092 | PSC | DES-212-254AV | アッシャー/6in | Inq. | 4 |
| 6ASHsam-pc--A10755 | サムコ | PC-300 | プラズマクリーナー | Inq. | 1 |
