| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 4CVDbei-inq-A0920 | Beijing Beiyi Innovation Vacuum Technology | Inq. | MOCVD | 2012 | 1 |
| 4CVDjus-jsa-A0919 | Jusung | JSA-1111-02 | MOCVD | 2010 | 1 |
| 4CVDvee-k46-A3023 | ビーコ | K465i | MOCVD | Inq. | 3 |
| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 4CVDbei-inq-A0920 | Beijing Beiyi Innovation Vacuum Technology | Inq. | MOCVD | 2012 | 1 |
| 4CVDjus-jsa-A0919 | Jusung | JSA-1111-02 | MOCVD | 2010 | 1 |
| 4CVDvee-k46-A3023 | ビーコ | K465i | MOCVD | Inq. | 3 |
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