| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 3FURavi-cel-A0578 | アビザテクノロジー | Celsior | 拡散炉/12in. | Inq. | 2 |
| 3FURavi-cel-A5664 | アビザテクノロジー | Celsior | 原子層堆積（ALD）システム | Inq. | 2 |
| 3FURhik-q2l-M14223 | HiKE/日立国際 | Q2LN | 拡散炉 | Inq. | 1 |
| 3FURtel-nt3-M14222 | 東京エレクトロン | NT333 | 成膜装置(ALD) | Inq. | 1 |
| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 3FURavi-cel-A0578 | アビザテクノロジー | Celsior | 拡散炉/12in. | Inq. | 2 |
| 3FURavi-cel-A5664 | アビザテクノロジー | Celsior | 原子層堆積（ALD）システム | Inq. | 2 |
| 3FURhik-q2l-M14223 | HiKE/日立国際 | Q2LN | 拡散炉 | Inq. | 1 |
| 3FURtel-nt3-M14222 | 東京エレクトロン | NT333 | 成膜装置(ALD) | Inq. | 1 |
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