| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 3DRYama-ad-A13692 | AMAT | AdvantEdge_GT | Poly Etcher/12in | 2010 | 1 |
| 3DRYama-cen-A5668 | アプライドマテリアルズ | Centris | エッチャー 12in. | Inq. | 1 |
| 3DRYama-ena-A9933 | アプライドマテリアルズ | Enabler | ドライエッチ | inq | 2 |
| 3DRYlam-inq-A13778 | ラムリサーチ | Inq. | チャンバー(OXE)/12in | Inq. | 1 |
| 3DRYlam-inq-A13779 | ラムリサーチ | Inq. | チャンバー(PLY)/12in | Inq. | 1 |
| 3DRYsem-tri-P9801 | Semsysco | Triton | エッチャー＋薬液供給装置 | 2018 | 1 |
| 3DRYtel-(in-A1330 | 東京エレクトロン | (Inq.) | ドライエッチ | Inq. | 8 |
| 3DRYtel-308-A2902 | 東京エレクトロン | 308SCCM | ドライエッチ | Inq. | 2 |
| 3DRYtel-308-P2083 | 東京エレクトロン | 308SCCM | ドライエッチ | Inq. | 2 |
